苏州某半导电源芯片制作业厂，晶圆加工厂历程中有含硅、氟的特定生活污水，设计制作处里投资规模1200吨/日。生活污水成份复杂的，包含納米级硅粒状及盐酸，普通处里步骤难于考核标准。 废渣有效成分及源 最主要的感染物 ：溶液硅（100-500nm粒级）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 源头工艺 ：晶圆刻蚀污污水 （45%）、CMP化学上的机械制造cnc精密机械加工污污水 （40%）、设配清扫冲洗水（15%） 处里艺程序 企业创新按照"催化奠定+特种作业膜分开"方法的路线： 钙盐积淀 ：加药氯化钙取除氟铁离子（生产CaF2石雕文化沉淀） 斜管沉淀池想法 ：符合斜板沉淀池剂做到胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm外径膜虚报冒领微细粒子 反渗入体统 ：脱盐率>98%，的回收利用率75% 蒸发掉成果 ：浓水段完成氟化物零排卸 后面体验 氟化物浓硫酸浓度：<8mg/L（不超过地方第一标准单位10mg/L） 硅含量：<5mg/L 水的资源造纸废水处理率：70%用以急冷塔保湿 垃圾少：汽化杂质量较传统化生产工艺少60%