某半导体器件电子器件营造厂在晶圆生产加工环节中,的使用硅烷做出硅外加萌发,废气排放洗條塔所产生高硫含量含硅废液。废液有pH震荡大(2-11)、硅硫含量高的优缺点,傳統处置技术易现身硅垢淤塞毛病。
电镀废水含量及主要来源
电镀废水重要化学物质为:
融解性硅酸盐
:SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L
硫酸钠/氢阳极氧化钠
:清洗塔酸性清洗液剩余的
颗粒剂硅
:纳米级级SiO₂固体
痕量砷
:主料杂质残渣进入
治理步骤流程步骤流程
转型升级选择"两极中合+膜过滤清洁+蒸发器心得"技艺:
一级通过成绩中合
:用CaO调理pH至4-5,合成硅酸钙积淀,硅弄掉率60%。
2级与
:加Na₂CO₃将pH加强至9,进一歩沉淀物中剩下的硅,电容串联用镁剂除砷。
超滤膜平台
:0.02μm工业陶瓷膜滤过nm级硅颗料,通量比较稳定在80LMH。
MVR挥发器
:萃取高盐生产废水,沉淀出Na₂SO₄副物料,水中水回用率超90%。
决定实际效果
总硅从1500mg/L降到5mg/L以内
砷分子量从0.8mg/L降为0.01mg/L
系统化无积垢使用高达2年
第二年的回收利用磷酸钠晶胞约800吨