该厂为84英寸晶圆的生产设备一起的超注射用水系統，一天到晚导致含硅化工废水150吨。化工废自来水中虽无血本属，但硅浓度高易水垢，且电容率需完成18MΩ·cm也能使用。已有解决工序是没办法提供新实行的《光电企业水破坏物尾气排放口准则》（GB39731-2020）很大尾气排放口允许值。 化工废水成份结构特征 主要的被污染的物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、粒状硅（粒级0.1-1μm） 比较特殊标准 ：TOC<10μg/L，硼含量的<5μg/L 水质标准基本特性 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅无机化合物基本特征冗杂 进行处理工艺技术过程 创新技术采用了"梯级膜剥离 +电去铝离子"组装工艺设计： 微滤预治理 ：1μm卫浴陶瓷膜拦住大科粒硅，通量能维持80LMH 亚铁离子对调硅胶粘合剂 ：D201大孔光敏树脂会条件性吸附剂硅酸氧分子 三级RO系统软件 ：首段回笼率60%，第一段进行高脱硼膜组件 EDI电去化合物 ：功率比热容2A/m²，继续剔除残存亚铁离子 紫外线除菌 ：254nm紫外光线含水量40mJ/cm² 技能重点 发展专用型阻硅剂（可挥发胺类复合材料物），减缓膜破坏周期公式3倍 EDI信息模块改革创新流道设计，硅洗去率不断提升至99.8% 迅雷在线硅数据分析仪器（测试范围图0.1-500μg/L）推动优质保持 运动效果 经3方检侧： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含铁从8μg/L降为0.3μg/L 系统化回收并率从原40%增加至68% 膜换洗期拉长至5年，年执行成本投入降35%