该晶圆开发厂处在华东地地,包括生产销售的8厘米半导晶圆,单日生活污水排出量约800吨。鉴于生产销售的进程中用到不少盐酸实现晶圆蚀刻,致使生活污水里面氟化物氧化还原电位高达独角兽200-300mg/L,远超国家排出条件(10mg/L一些)。
生活污水材质及收入
污废水 其主要位于四个部门:
晶圆蚀刻环节
:含高氧化还原电位氟化物(HF)、硝酸银及几瓶天价属
化学式机械化抛光处理(CMP)废污水
:含纳米级级硅顆粒、有机质络合剂
装备刷洗废气
:含异丙醇、高锰酸盐指数等有机酸物
治疗工艺设计注意事项
分为"化学式沉定物+混泥土沉定物+深度的筛选"三类处里系统软件:
第一工作
:污泥脱水氯化钙和氢氧化反应钙,生成氟化钙结晶,氟化物避开率达85%
二次元办理
:添加图片PAC(汇聚氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),避开电解质溶液态环保问题物
三级视频解决
:完成多有机溶剂油烟净化器器和几丁质酶炭降解,溢水氟化物浓硫酸浓度可靠在8mg/L一些
重点生产设备主要包括:pH会自动调控整体、斜管放置池、板框压滤(污水脱水过滤)。
终于实际效果
好项目进行一年评估数据源表示:
氟化物人均有机废气浓度:7.2mg/L(低过國家细则)
COD出掉率:92%
工业废水含水分率:≤65%
年回收应用氟化钙副类产品约150吨,实现了资原化应用